Il target di sputtering si riferisce a una fonte di sputtering che viene spruzzata e depositata su un substrato in condizioni di processo appropriate mediante sputtering con magnetron, placcatura ionica multi-arco o altri tipi di apparecchiature di rivestimento per formare varie pellicole funzionali. Secondo la composizione, gli obiettivi possono essere suddivisi in obiettivi di metallo puro, obiettivi di lega, obiettivi di ossido, obiettivi di siliciuro, ecc.; a seconda della forma si possono dividere in bersagli piani (bersagli rettangolari e bersagli ad arco) e bersagli tubolari. . I target sputtering sono ampiamente utilizzati in molti campi come decorazioni, utensili e stampi, vetro, dispositivi elettronici, semiconduttori, registrazione magnetica, display piatti, celle solari, ecc. Campi diversi richiedono materiali target diversi.
1. Rivestimento decorativo
Il rivestimento decorativo si riferisce principalmente al rivestimento superficiale di telefoni cellulari, orologi, occhiali, sanitari, parti hardware e altri prodotti. Non solo svolge un ruolo nell'abbellimento del colore, ma ha anche resistenza all'usura, resistenza alla corrosione e altre funzioni. Le principali varietà di target per il rivestimento decorativo includono: target di cromo, target di titanio, target di zirconio, target di nichel, target di tungsteno, target di titanio-alluminio, target di acciaio inossidabile, ecc.
2. Rivestimento di stampi o utensili di lavorazione
Viene utilizzato principalmente per il rinforzo superficiale di utensili e stampi, che può migliorare significativamente la durata di utensili e stampi e la qualità delle parti lavorate. Negli ultimi anni, spinto dallo sviluppo dell’industria aerospaziale e automobilistica, il livello tecnico e l’efficienza produttiva dell’industria manifatturiera globale hanno fatto grandi progressi e la domanda di utensili da taglio e stampi ad alte prestazioni aumenta di giorno in giorno. I principali tipi di target utilizzati per il rivestimento dello stampo includono: target in titanio-alluminio, target in cromo, target in titanio, ecc.
3. Rivestimento in vetro
L'applicazione dei materiali target sul vetro è principalmente quella di produrre vetro rivestito a bassa radiazione, che utilizza il principio dello sputtering del magnetron per spruzzare più strati di pellicole sottili sul vetro per ottenere le funzioni di risparmio energetico, controllo della luce e decorazione. I principali tipi di target includono: target d'argento, target di cromo, target di titanio, target di nichel-cromo, target di silicio-alluminio, target di ossido di titanio, ecc. Un'altra importante applicazione dei materiali target sul vetro è la preparazione degli specchietti retrovisori delle automobili, principalmente cromo target, target in alluminio, target in ossido di titanio, ecc. Poiché i requisiti di qualità per gli specchietti retrovisori delle automobili continuano ad aumentare, molte aziende sono passate dal processo di placcatura in alluminio originale al processo di cromatura a spruzzo sotto vuoto.
4. Rivestimento del dispositivo elettronico
I rivestimenti dei dispositivi elettronici vengono utilizzati principalmente per resistori e condensatori a film sottile. I materiali target per i resistori a film sottile includono target NiCr, target al nichel-cromo-silicio (NiCrSi), target al cromo-silicio (CrSi), target al tantalio (Ta), target al nichel-cromo-alluminio (NiCrA1), ecc.
5. Rivestimento del display piatto
La rapida crescita della domanda di dispositivi di visualizzazione a schermo piatto da personal computer portatili, televisori, telefoni cellulari, ecc. ha notevolmente promosso lo sviluppo di vari tipi di dispositivi di visualizzazione a schermo piatto. I suoi tipi includono: dispositivo con display a cristalli liquidi (LCD), dispositivo con display al plasma (PDP), ecc. Tutti questi dispositivi con display a schermo piatto utilizzano vari tipi di pellicole. Senza la tecnologia a film sottile non esisterebbero i dispositivi con display a schermo piatto. Al fine di garantire l'uniformità dei rivestimenti su vasta area, migliorare la produttività e ridurre i costi, per preparare questi rivestimenti viene sempre più utilizzata la tecnologia sputtering. I principali tipi di target utilizzati per il rivestimento del display piatto includono: target al cromo, target al molibdeno, target in lega di alluminio, target in rame, ecc.
6. Rivestimento semiconduttore
Il rapido sviluppo della tecnologia dell'informazione richiede che i circuiti integrati siano sempre più integrati. Ciascun dispositivo unitario è composto da un substrato, uno strato isolante, uno strato dielettrico, uno strato conduttore e uno strato protettivo. Tra questi, lo strato dielettrico, lo strato conduttore e persino lo strato protettivo. Viene utilizzato il processo di rivestimento sputtering, quindi l'obiettivo dello sputtering è uno dei materiali principali per la preparazione dei circuiti integrati. I materiali target per il rivestimento dei semiconduttori richiedono un'elevata purezza target, generalmente superiore a 4N o 5N. Le principali varietà includono tungsteno-titanio, target in titanio, target in alluminio e target in rame.
