Target di zirconio
Panoramica
Il bersaglio zirconio è ampiamente utilizzato nei campi di rivestimento sputtering, produzione di semiconduttori, rivestimento ottico, nuova energia, ecc., Con la sua eccellente stabilità fisica e chimica, resistenza alla corrosione, controllabilità ad alta purezza e adattabilità alle esigenze di più campi. In futuro, con il progresso della tecnologia, il suo potenziale di applicazione nei campi emergenti come nano-coati e dispositivi quantistici continuerà a essere dimostrato.
Zr Sputtering Caratteristiche target
Buone prestazioni ad alta temperatura
Il punto di fusione dello zirconio è alto come 1852 gradi. Può mantenere una struttura fisica stabile in un ambiente ad alta temperatura e non è facile da sciogliere o deformare.
Forte stabilità chimica
Lo zirconio può resistere alla corrosione da una varietà di acidi forti, alcali forti e acqua di mare a temperatura ambiente e un filo film di passivazione zro₂ si forma facilmente sulla superficie per prevenire ulteriori corrosioni.
Eccellenti proprietà elettriche e ottiche
Lo zirconio può condurre l'elettricità e impedire la diffusione degli ioni metallici. L'ossido di zirconio ha un indice di rifrazione elevato e può essere utilizzato per preparare i rivestimenti ottici.
Forte prestazioni sputtering
La purezza può di solito raggiungere il 99,5%e può depositare film sottili altamente uniformi. Può essere trasformato in target di varie forme attraverso la forgiatura, il rotolamento e altri processi ed è adatto a diverse attrezzature di sputtering.
Dimensione target di zirconio
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Grado |
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Tecnica |
Pressatura isostatica calda, perfezionamento del grano, sinterizzazione, forgiatura, ricottura |
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Purezza |
99.95% |
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Spessore |
3mm -40 mm |
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Diametro |
50-300 mm |
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Punto di fusione |
1857 gradi |
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Densità |
6,94 g\/cm3 |
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Forma |
Disco rotondo |
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Superficie |
Lucidare, macinare |
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Certificazione |
ISO9001 |
Applicazione
Il bersaglio di sputter in metallo zirconio è ampiamente utilizzato nella microelettronica, nell'industria della produzione di semiconduttori (preparazione di elettrodi di gate e strati di interconnessione di metallo), industria aerospaziale (componenti e materiali strutturali ad alta temperatura), industria ottica e ottica e ottica (film ottici di alta qualità) e l'obiettivo di sputter zirconium. Il campo di energia nucleare (materiali di rivestimento del carburante e materiali dell'asta di controllo per reattori nucleari), il campo medico (parti bersaglio dei tubi a raggi X), strumenti di produzione meccanica (rivestimenti resistenti all'usura) Forniture decorative (rivestimenti estetici decorativi) e altri settori.
Processo
La nostra azienda produce bersagli ad alta purezza di zirconio attraverso la pressatura delle polveri, lo scioglimento del forno ad alta temperatura, la fusione di muffe, il rotolamento ripetuto, il trattamento di lucidatura superficiale, il controllo rigoroso di qualità e altri processi. La purezza e l'uniformità dell'obiettivo sono in linea con i requisiti delle applicazioni ad alta tecnologia.
1. Metallurgia in polvere (processo comune)
Povere: spugna zirconio viene trasformato in polvere di zirconio mediante schiacciamento meccanico, idrogenazione-deidrogenazione (HDH) e altri metodi.
Pressing: il bianco Blank è ottenuto mediante pressatura isostatica a freddo o stampaggio a compressione in uno stampo.
Sintering: sinterizzazione ad alta temperatura nel vuoto o atmosfera inerte per migliorare la densità.
2. Metodo di fusione e fusione (applicabile a bersagli di grandi dimensioni)
Fusione dell'arco a vuoto: i blocchi di zirconio di spugna o zirconio vengono fusi in un forno ad arco a vuoto per rimuovere le impurità del gas e gettare in lingotti.
Forgiando e rotolando: i lingotti sono forgiati caldi e arrotolati per migliorare l'orientamento del grano ed elaborarli nella forma desiderata.
3. Macchinatura e trattamento superficiale
Taglia in dimensioni specificate e la superficie viene macinata e lucidata per ridurre la rugosità ed evitare difetti superficiali che influenzano l'uniformità sputtering.
4. Ispezione e imballaggio di qualità completi
I film sputati dal bersaglio di sputter Zirconio Zirconio possono essere divisi nelle seguenti categorie:
1. Nitruro di zirconio (ZRN)
Colore: giallo dorato
Meccanismo di formazione: il bersaglio di zirconio è sputato in un ambiente di azoto per generare un rivestimento di nitruro di zirconio (ZRN). Il colore dorato di ZRN deriva principalmente dalle caratteristiche di riflessione della luce della sua struttura cristallina.
Applicazione: il rivestimento ZRN ha le caratteristiche di alta durezza, buona resistenza all'usura e resistenza alla corrosione e viene spesso utilizzato in rivestimenti decorativi, utensili da taglio e stampi.
2. zirconio carbonitride (ZRCN)
Colore: nero profondo
Meccanismo di formazione: bersaglio di zirconio sputtering in un'atmosfera mista di azoto e metano per generare un rivestimento di zirconio carbonitruro (ZRCN). L'aumento del contenuto di carbonio fa cambiare il colore del rivestimento in nero profondo migliorando la sua durezza e resistenza all'usura.
Applicazione: il rivestimento ZRCN viene utilizzato per utensili da taglio ad alte prestazioni e parti meccaniche resistenti all'usura, fornendo un'eccellente resistenza all'usura e alla corrosione.
3. Ossido di zirconio (Zro₂)
Colore: trasparente o bianco
Meccanismo di formazione: il rivestimento PVD viene eseguito in un ambiente di ossigeno per formare un rivestimento di ossido di zirconio (ZRO₂). Zro₂ ha un'eccellente stabilità termica e proprietà di isolamento elettrico.
Applicazione: il rivestimento Zro₂ è ampiamente utilizzato in ambienti ad alta temperatura, dispositivi elettronici e ceramiche mediche.
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